LED ea setso e fetotse tšimo ea mabone le pontšo ka lebaka la ts'ebetso ea bona e phahameng ka ho fetisisa mabapi le katleho, botsitso le boholo ba lisebelisoa. Li-LED ka tloaelo ke mekoloko ea lifilimi tse tšesaane tsa semiconductor tse nang le litekanyo tse ka morao tsa limilimithara, tse nyane haholo ho feta lisebelisoa tsa setso joalo ka li-bulb tsa incandescent le li-tubes tsa cathode. Leha ho le joalo, lits'ebetso tse ntseng li hlaha tsa optoelectronic, joalo ka 'nete ea sebele le e ntseng e eketseha, li hloka li-LED tsa boholo ba li-micron kapa ka tlase ho moo. Tšepo ke hore micro - kapa submicron scale LED (µleds) e tsoela pele ho ba le litšoaneleho tse ngata tse phahameng tseo li-led tsa setso li seng li ntse li e-na le tsona, tse kang tlhahiso e tsitsitseng haholo, ts'ebetso e phahameng le khanya, tšebeliso ea matla a tlaase haholo, le tlhahiso ea mebala e feletseng, ha e ntse e le nyane ka makhetlo a milione sebakeng, e lumellang hore ho be le liponts'o tse kopaneng. Lits'oants'o tse joalo tse etelletsoeng pele li ka bula tsela bakeng sa li-circuits tse matla haholo haeba li ka holisoa single-chip ho Si mme tsa kopanngoa le lisebelisoa tsa elektroniki tsa oxide semiconductor (CMOS).
Leha ho le joalo, ho fihlela joale, li-µleds tse joalo li ntse li le thata, haholo-holo sebakeng se botala ho isa ho khubelu emission wavelength. Mokhoa oa setso o etelletsoeng pele ke µ ke ts'ebetso e eang holimo moo lifilimi tsa InGaN quantum well (QW) li kenngoeng ka har'a lisebelisoa tse nyane ka ts'ebetso ea etching. Le hoja filimi e tšesaane e thehiloeng ho InGaN QW-based tio2 µleds e hohetse tlhokomelo e ngata ka lebaka la lisebelisoa tse ngata tse babatsehang tsa InGaN, tse kang ho tsamaisa thepa e sebetsang hantle le ho tsitsa ha maqhubu ho pholletsa le mefuta eohle e bonahalang, ho fihlela joale ba 'nile ba angoa ke litaba tse kang lebota le mahlakoreng. tshenyo ya kutu e mpefalang ha boholo ba sesebediswa bo ntse bo honyela. Ho phaella moo, ka lebaka la ho ba teng ha masimo a polarization, ba na le ho se tsitse ha maqhubu / mebala. Bakeng sa bothata bona, litharollo tsa non-polar le semi-polar InGaN le photonic crystal cavity li hlahisitsoe, empa ha li khotsofatse hona joale.
Ka pampiri e ncha e hatisitsoeng ho Light Science and Applications, bafuputsi ba etelletsoeng pele ke Zetian Mi, moprofesa Univesithing ea Michigan, Annabel, ba thehile submicron scale green LED iii - nitride e hlōlang litšitiso tsena hang-hang. Li-µled tsena li entsoe ka mokhoa o ikhethileng oa plasma-assisted molecular beam epitaxy. Ho fapana haholo le mokhoa o tloaelehileng oa ho ea holimo, µled mona e na le mefuta e mengata ea li-nanowires, e 'ngoe le e' ngoe e le bophara ba 100 ho isa ho 200 nm, e arohanngoa ke mashome a nanometers. Mokhoa ona oa ho ea holimo o qoba tšenyo ea lebota la lateral.
Karolo e ntšang khanya ea sesebelisoa, eo hape e tsejoang e le sebaka se sebetsang, e entsoe ka core-shell multiple quantum well (MQW) mehaho e khetholloang ke nanowire morphology. Haholo-holo, MQW e na le seliba sa InGaN le mokoallo oa AlGaN. Ka lebaka la ho se tšoane ha ho falla ha athomo ea adsorbed ea sehlopha sa III sa likarolo tsa indium, gallium le aluminium maboteng a mahlakoreng, re fumane hore indium e ne e le sieo maboteng a mahlakoreng a nanowires, moo khetla ea GaN / AlGaN e neng e phuthela mokokotlo oa MQW joaloka burrito. Bafuputsi ba fumane hore litaba tsa Al tsa khetla ena ea GaN/AlGaN li fokotsehile butle-butle ho tloha lehlakoreng la ente ea elektronike la nanowires ho ea lehlakoreng la ente ea lesoba. Ka lebaka la phapang pakeng tsa likarolo tsa ka hare tsa polarization tsa GaN le AlN, tekanyo e joalo ea molumo oa Al content ka AlGaN layer e kenya li-electrone tse sa lefelloeng, tseo ho leng bonolo ho phalla ka har'a motheo oa MQW le ho fokotsa ho se tsitse ha mebala ka ho fokotsa sebaka sa polarization.
Ha e le hantle, bafuputsi ba fumane hore bakeng sa lisebelisoa tse ka tlaase ho micron e le 'ngoe ka bophara, leqhubu la tlhōrō ea electroluminescence, kapa tlhahiso ea khanya e bakoang ke hona joale, e lula e le teng ka tatellano ea boholo ba phetoho ea ente ea hona joale. Ntle le moo, sehlopha sa Moprofesa Mi se kile sa theha mokhoa oa ho holisa liphahlo tsa boleng bo holimo tsa GaN holim'a silicon ho holisa li-leds tsa nanowire holim'a silicon. Kahoo, µled e lutse holim'a substrate ea Si e loketseng ho kopanngoa le lisebelisoa tse ling tsa elektroniki tsa CMOS.
Sena µled ha bonolo se na le lisebelisoa tse ngata tse ka bang teng. Sethala sa sesebelisoa se tla ba matla le ho feta ha bophahamo ba maqhubu a ponts'o ea RGB e kopantsoeng ho chip bo ntse bo hola ho ba bofubelu.
Nako ea poso: Jan-10-2023